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本发明公开了一种晶圆的匀胶装置，匀胶箱体设置有进料口和出料口，匀胶箱体上设置有进料门和出料门；晶圆进料机构将晶圆从进料口送入；晶圆出料机构从出料口导出；匀胶箱体内固定有底板，底板上升降安装有主轴升降架，主轴升降架上转动安装有主轴，底板上设置有主轴升降动力装置，主轴的上端固定有负压吸盘，主轴的中心设置有负压通道，主轴升降架上安装有旋转动力装置，匀胶箱体上固定有清边装置和背清装置，匀胶箱体的侧面安装有滴胶壳体，滴胶壳体内安装有滴胶水平滑座，滴胶水平滑座上安装有滴胶升降架，滴胶升降架上固定有滴胶头，与
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117772538A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311862791.4
(22)申请日2023.12.29
(71)申请人山东华楷微电子装
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