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本发明提供一种涂布装置,能够以容易的结构应对多品种的基板。涂布装置具备:工作台,其能够载置宽度尺寸不同的多品种的基板;以及涂布单元,其通过一边相对于载置在工作台的表面的基板相对地移动一边喷出涂布液,而在基板上形成涂布膜,涂布装置具有升降部件,在向工作台进行基板的搬入、搬出时,升降部件将基板保持在距工作台规定高度,在升降部件保持基板时与基板的背面抵接的抵接部具有沿基板的宽度方向延伸的形状,以便能够维持宽度尺寸不同的基板的保持姿势。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117772558A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311255495.8
(22)申请日2023.09.26
(30)优先权数据
2022-154679202
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