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本发明公开了一种非同腔相干阵边发射半导体激光器及制备方法,包括:半导体衬底和形成于半导体衬底上表面的半导体外延层;半导体外延层上表面依次设置有一维非同腔阵列区、相位调制区和相干耦合区;一维非同腔阵列区包括交替排列的长腔和短腔,相邻腔体之间设置有电隔离区;一维非同腔阵列区上表面设置有P型金属电极层,半导体衬底下表面设置有N型金属电极层;一维非同腔阵列区端面设置有高反膜,相干耦合区端面设置有增透膜。本发明可以实现半导体激光阵列稳定锁相的同相模输出,且光束质量达到近衍射极限,远场光场呈线形分布,可用于
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117791303A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202410011661.8
(22)申请日2024.01.04
(71)申请人北京工业大学
地址100124
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