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本发明公开具有横向结构的垂直腔表面发射激光器及其制造方法。包括主腔以及环绕在主腔外围的N个反馈腔,N≥2。主腔所具有的上布拉格发射镜与每一反馈腔所具有的上布拉格发射镜的纵向交接处均具有高阻层,高阻层用于电隔离主腔和反馈腔,高阻层还用于提高主腔与反馈腔交接处的反波导折射率,以及用于确定对于激光所具有的横模的模式选择力。具有横向结构的垂直腔表面发射激光器所具有的上布拉格发射镜与有源区之间具有横向光场限制层。其中,主腔用于产生激光,激光分为纵模和横模。横模在高阻层和横向光场限制层的共同作用下耦合进入反
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117791305A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202211160577.X
(22)申请日2022.09.22
(71)申请人中国科学院微电子研究所
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