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本发明属于光伏电池技术领域,提供一种增强TOPCon电池钝化的方法及TOPCon电池的制作方法。该增强TOPCon电池钝化的方法包括:抛光以在硅片表面获得光滑平坦的形貌;采用2‑10%质量浓度的过硫酸铵水溶液对光滑平坦形貌的硅片表面进行化学氧化处理1‑3分钟,处理温度为室温,使硅片表面氧化形成致密的氧化硅膜,再水洗硅片;再采用含5‑20%质量浓度的六甲基二硅氮烷的甲苯溶液对硅片进行氧化后处理1‑15分钟,处理温度为室温至80℃,以对氧化硅膜表面进行钝化接触性能改善,再对硅片进行水洗、烘干。如此,
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117790627A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311805835.X
(22)申请日2023.12.26
(71)申请人泰州中来光电科技有限公司
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