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- 2024-03-30 发布于四川
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本发明涉及光学技术领域,具体提供一种线膨胀系数检测装置及方法,能够在高度共光路的情况下,最大程度地消除空气热膨胀与振动对系统的影响,同时也避免了外差激光干涉检测方式造成的非线性周期误差导致影响检测结果,还能够有效扩大线膨胀系数测量系统的测试范围,提高测量精度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117783199A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202410213681.3
(22)申请日2024.02.27
(71)申请人中国科学院长春光学精密机械与物
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