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本发明公开了一种应用于常压等离子体沉积的环保疏水膜镀膜方法，属于工件表面处理领域，方法包括将镀膜前驱体在雾化装置雾化，用工作气体携带进入等离子体激发装置，然后从常压等离子体镀膜喷枪喷出；镀膜前驱体按质量包括全氟聚醚类化合物5份‑8份、含氟硅氧烷1份‑5份和硅烷偶联剂0.1份‑2份。所用原料具有安全、环保的特点，避免了全氟化合物难降解、易生物累积、高毒性的风险，以全氟聚醚和含氟硅氧烷中的‑F键结构提供膜的疏水性，以含氟硅氧烷和硅烷偶联剂提供的Si‑O键结构增强膜的耐低温性和高温稳定性，即使采用常压
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117772561A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311851290.6
(22)申请日2023.12.29
(71)申请人佛山市屹博电子科技有限公司
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