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本申请涉及气相沉积装置的技术领域，改善了沉积炉内不同位置产品的沉积密度具有差异的问题，公开了一种制动盘沉积装置，包括炉体，炉体具有相对设置的进气口和出气口，炉体内沿其气流方向间隔设置有若干料盘，料盘上阵列开设有若干通孔，料盘上间隔设置有多个用于承载工件的托盘，托盘上于工件的周侧阵列开设有若干气孔，不同料盘上托盘的气孔的面积沿气流方向逐渐增大。工件即为制动盘，从气孔流过的碳源沉积在工件的表面，随着沉积过程中碳源的消耗，靠近出气口的碳源占比逐渐减小，将托盘上气孔面积设置为逐渐增大，能使经过工件的气体
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220685239U
(45)授权公告日2024.03.29
(21)申请号202322388469.4
(22)申请日2023.09.01
(73)专利权人江油天力新陶碳碳材料科技有限
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