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一种电容器件及其形成方法，其中结构包括：各第一指状极板位于相邻第二指状极板之间，若干第一指状极板的数量和若干第二指状极板的数量相差一根；位于衬底上的第二电容器件，第二电容器件包括第三电极层和第四电极层，第一电极层和第三电极层之间具有中轴线，中轴线平行于第一方向，第一电极层和第三电极层以中轴线呈镜像分布，第三电极层包括若干第三指状极板，第四电极层包括若干第四指状极板，若干第三指状极板和若干第四指状极板均平行于第一方向且沿第二方向排布，各第三指状极板位于相邻第四指状极板之间，若干第三指状极板的数量和
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117790476A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202211137939.3
(22)申请日2022.09.19
(71)申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限
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