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本发明提供一种基于介质阻挡放电的微型离子化装置。本发明包括介质管、外电极、螺旋内电极、内衬管和两端的接口结构,通过设置在介质管两端的第一接口结构和第二接口结构将所述螺旋内电极与内衬管固定在介质管内部,介质管外壁贴合外电极,外电极、介质管以及螺旋内电极构成介质阻挡放电装置,工作状态下,所述第一接口结构和第二接口结构外接电源,产生介质阻挡放电,第一接口结构用于将工作气体通入介质管中。通过设置合理的电极构型和工作气体流动通路,使得该装置可以在较低的电压条件下获得较高的电离效率。同时在无需额外冷却装置的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117790282A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202211148985.3
(22)申请日2022.09.20
(71)申请人中国科学院大连化学物理研究所
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