一种提高真空沉积钙钛矿薄膜结晶性的制备方法及其应用.pdfVIP

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2024-03-30 发布于四川
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一种提高真空沉积钙钛矿薄膜结晶性的制备方法及其应用.pdf

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本发明公开了一种提高真空沉积钙钛矿薄膜结晶性的制备方法及其应用，包括以下步骤：S1：钙钛矿薄膜初步制备；S2：筛选钙钛矿薄膜；S3：将卤化物溶于溶剂A中配制成反应液；S4：将钙钛矿薄膜置于密闭真空腔室中的基片台上；S5：利用超声雾化装置将反应液转变为雾化反应液，利用载气携带通入真空腔室内，再通过退火处理得到高度结晶、均匀致密的钙钛矿薄膜。本发明通过优化反应液的成分和浓度、超声雾化频率和温度、雾化气流量和速率、腔体真空度和基片台温度，提高了钙钛矿薄膜结晶质量和均匀性；制得的钙钛矿薄膜应用于钙钛矿太

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117778946A

(43)申请公布日2024.03.29

(21)申请号202311835459.9B05D7/24(2006.01)

(22)申请日2023.12.2

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