GB/T 26111-2023微机电系统(MEMS)技术　术语.pdf

ICS31.080.99

C臼L59

~B

主t

中华人民

和国国家标准

J，、

GB/T26111-2023

代替GB/T26111-2010

微机电系统（MEMS）技术

术语

Micro-electromechanicalsystemtechnology-Terms

(IEC62047-1:2016,Semiconductordevices-Micro-electromechanical

devices-Part1:Termsanddefinitions,MOD)

2023-05-23发布

2023-09-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

GB/T26111一2023

目次

前言.............…........….............................................….III

1范围........……··

2规范性引用文件……

3术语和定义－

3.1通用术语和定义

3.2与科学和工程有关的术语和定义..................…...••••...••••.••..•..•..•.•2

3.3与材料科学有关的术语和定义…….:……..…..…….3

3.4与功能元件有关的术语和定义..3

3.5与加工技术有关的术语和定义.

3.6与键合和装配技术有关的术语和定义…...….....…….........

3.7与测量技术有关的术语和定义…·…...….•...••.••..•.•....•.••••....•..•..•.••••..••.14

3.8与应用技术有关的术语和定义……··

附录A（资料性）本文件与GB/T26111-2010相比的主要技术变化….….....…....••..•.18

参考文献·

索引…........................................…………............….•.•••••..•....•••.....••27

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