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微型、薄型动态压力传感器.pdfVIP

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  • 2024-04-03 发布于天津
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微型、薄型动态压力传感器.pdf

    微型、薄型动态压力传感器

    一、CYG502型超微型压力传感器(绝压)

    标称尺寸外径2mm的超微型压力传感器CYG502是专为流体力学实验中要求更小安装尺

    寸的用途而设计的。是目前我公司推出产品中尺寸最小的压力传感器。

    CYG502的压力敏感元件采用当代最先进的MEMS（MiroElectronicMachinicalSystems）

    技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度。离子注

    入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移。采用硅硅

    直接键合技术、倒V型槽设计、从而实现了可利

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