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质量流量控制器（MFC ）

质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀腊设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

D07系列质量流量控制器具有精度高、重复性好、流量量程宽、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点，其操作使用非常方便，可任意位置安装，并便于与计算机连接实现自动控制。它也可以作为质量流量计(MFM)使用，对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。

D07系列质量流量控制器一般与D08系列流量显示仪等配套产品配合使用。

质量流量控制器（MFC）由流量传感器，分流器通道，流量调节阀和放大控制电路等部件组成。流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，具有温度压力自动补偿特性。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与之配套的D08系列流量显示仪上设置有稳压电源，3位半数字电压表，设定电位器，外设、