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为了提供一种构造简单且能够实现高能效工件处理的处理设备，建议该处理设备包括：处理室，该处理室包括多个处理室区段，所述处理室区段各自被分配给所述处理设备的多个单独的循环空气模块中的一个；加热设备，该加热设备包括加热气体管道，其中多个循环空气模块联接所述加热气体管道，特别用于加热被引导穿过所述处理室区段的气体。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117804186A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202311669862.9(51)Int.Cl.
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