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2024-04-03 发布于四川
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晶圆聚焦区域的选择方法及操作界面系统.pdf

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本发明提供了一种晶圆聚焦区域的选择方法及操作界面系统，包括：提供晶圆版图，晶圆版图包括图形定义区和非图形定义区；根据图形定义区和非图形定义区设置多个曝光区域；模拟检测图形定义区的曝光聚焦信息，获得图形定义区中不具有曝光聚焦信息的区域作为第一聚焦区域；获得第一聚焦区域对应的曝光区域；选择位于第一聚焦区域对应的曝光区域内的至少部分非图形定义区并设定为第二聚焦区域；合并图形定义区和第二聚焦区域以产生第三聚焦区域；扣除非图形定义区内的第二聚焦区域以产生第四聚焦区域；输出第三聚焦区域和第四聚焦区域至晶圆上

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117806129A

(43)申请公布日2024.04.02

(21)申请号202311870365.5

(22)申请日2023.12.29

(71)申请人福建省晋华集成电路有限公司

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