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一种共焦层析扫描系统的双向扫描方法，它涉及一种双向扫描方法。本发明为了解决现有共焦层析系统的扫描效率较低的问题。本发明所述方法包括充分利用共焦层析扫描系统中振镜摆动的正反行程进行采样；对控制振镜快轴移动与慢轴移动的信号进行优化；对由于控制系统信号传递的纯滞后现象导致的共焦图像错位进行优化与校正。本发明属于信号测量技术领域。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117804373A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202311435570.9
(22)申请日2023.10.31
(71)申请人哈尔滨工业大学
地址15000
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