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本实用新型提供一种隔板式可变容积抛光桶，涉及抛光技术领域，该隔板式可变容积抛光桶包括抛光桶本体、升降驱动组件和至少一个分隔板，分隔板活动设置在抛光桶本体内，并与抛光桶本体的侧壁和底壁密封接合，以将抛光桶本体分隔形成多个隔离腔室，升降驱动组件设置在抛光桶本体的上方，并与分隔板传动连接，用于带动分隔板脱离抛光桶本体的底壁，以使隔离腔室相互导通。相较于现有技术，本实用新型提供的隔板式可变容积抛光桶，能够调整抛光液桶的容纳体积，从而根据实际需求承载不同容积的抛光液，适用性更好，且通过升降驱动组件和分隔板
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220701783U
(45)授权公告日2024.04.02
(21)申请号202321867220.5
(22)申请日2023.07.14
(73)专利权人通威微电子有限公司
地址61
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