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一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装.pdf

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    本实用新型公开了一种平面溅射靶材绑定用快速冷却工装，包括固定底座，所述固定底座的顶部转动安装有中心柱，且中心柱的顶端外壁固定连接有中心齿轮，所述中心齿轮的一侧啮合有卡齿轮，且卡齿轮的内壁固定连接有转柱；所述固定底座的顶部固定安装有固定板。该平面溅射靶材绑定用快速冷却工装，通过中心齿轮带动周围的卡齿轮进行同时旋转，使得不同位置的夹持柱同时旋转对背板进行夹持，从而将靶材板固定在工装的内部，然后首先通过风冷扇对靶材板和背板进行风冷，然后再将换热管内部通入液体，进行循环水冷，使得循序将靶材进行冷却处理，

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220707861U

    (45)授权公告日2024.04.02

    (21)申请号202322232020.9

    (22)申请日2023.08.18

    (73)专利权人南京欧美达应用

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