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本发明公开了一种PVD机台用气体冷却盘，本发明涉及流体控制技术领域，通过冷却机构与分流机构配合控制冷却水的分流导向，并通过扩流机构对冷却管路内部的气体进行均匀冷却，冷却后的气体流向PVD机台，对PVD机台的各部位进行均匀冷却后，再次流回冷却盘，并进入循环管路进行二次冷却，随后将其回收，从而实现对PVD机台各部位均匀冷却的目的，该机构采用气体作为冷却介质，能够迅速有效地带走机台表面的热量，实现更快速、更均匀的冷却效果，给予设备低廉维护成本的同时扩大了设备的适用范围，有利于环保和可持续发展。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117802474A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202311859986.3
(22)申请日2023.12.31
(71)申请人上海悦匠实业有限公司
地址20
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