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本实用新型涉及研磨设备技术领域,提供了一种夹具及研磨抛光设备。其中,固定盘的中部的通孔被隔板分隔为绕其轴线分布的若干子空间,子空间的周侧壁至少包括一面通孔的内周壁;夹持组件设置于子空间内,第一夹持件的运动方向与通孔的轴线垂直;固定盘设置有两个,两个固定盘沿其轴线分布,且两个固定盘能够沿轴线相互靠近或远离,晶体能够被两个固定盘的夹持组件固定且晶体的待处理端面暴露于固定盘的端面外。通过两个固定盘沿轴向分别为晶体提供两个支撑点,使得晶体在研磨过程中能够减少摆动幅度,提高研磨作用质量,且固定盘能够同时固
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220699229U
(45)授权公告日2024.04.02
(21)申请号202322390167.0
(22)申请日2023.09.04
(73)专利权人厦门钨业股份有限公司
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