原创力文档- 3
- 0
- 约1.16万字
- 约 11页
- 2024-04-03 发布于四川
- 举报
本发明公开了一种溶液辅助法制备二维铋氧硫薄膜的方法。所述方法将Bi(NO3)3·5H2O粉末溶于乙二醇中配置前驱体溶液，然后旋涂于硅片衬底表面，退火形成Bi2O3薄膜，再以硫粉作为前驱体粉末置于双温区管式炉的第一温区，Bi2O3薄膜置于双温区管式炉的第二温区，升温硫化得到大面积的二维Bi2O2S薄膜。本发明通过调控前驱体的浓度、匀胶机的转速来调控制备薄膜的厚度以及均匀性，薄膜厚度可以精确控制到10nm，实现了二维尺度稳定可控且高质量的Bi2O2S薄膜的大面积制备。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117800390A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202211164396.4
(22)申请日2022.09.23
(71)申请人南京理工大学
地址
文档评论（0）