原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型公开了一种晶圆的脱膜装置，包括中央支撑台，包括吸附盘，吸附盘朝向载晶膜的一侧为工作面，吸附盘在所述工作面上开设有至少一个用于产生负压的气孔；夹持机构，围设于中央支撑台外圈，用于夹持载有晶圆的载晶膜的外圈；升降机构，与夹持机构或中央支撑台连接；升降机构驱动夹持机构相对于中央支撑台运动，以将夹持机构上载有晶圆的载晶膜覆盖并压紧至吸附盘上进行平铺拉伸，吸附盘上的气孔处产生负压使载晶膜与所述工作面之间也形成负压状态，载晶膜在负压作用下与所述晶圆脱离。另外本实用新型还公开了采用上述脱模装置的自动
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220710248U
(45)授权公告日2024.04.02
(21)申请号202222651853.4
(22)申请日2022.10.09
(73)专利权人谭建新
地址518000
文档评论（0）