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本发明公开一种定向MEMS扬声器阵列和制作方法，该阵列包括：基板，基板包括多个阵列排布的柱状支撑足、支撑梁和振膜；每一柱状支撑足与相邻的柱状支撑足均通过支撑梁连接，每相邻的三个呈三角形排布的柱状支撑足的三个支撑梁之间设置有一个振膜，振膜与支撑梁相互不接触，振膜分别与相邻的三个呈三角形排布的柱状支撑足连接；每一振膜表面设置有一个压电单元，压电单元包括依次层叠设置的第一电极、压电薄膜层和第二电极，第一电极设置于压电薄膜层邻近基板的一侧。本发明所提供的定向MEMS扬声器阵列尺寸小，所涉及的尺寸及阵列排
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117812509A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202311856624.9
(22)申请日2023.12.28
(71)申请人常州元晶摩尔微电子有限公司
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