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2024-04-03 发布于四川
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本实用新型提供一种对准装置，涉及半导体技术领域。该对准装置包括载台、第一对准组件和至少两个第二对准组件，第一对准组件和第二对准组件间隔围设于载台的放置区且围设区域大于放置区的半周区域；第一对准组件包括第一驱动部件、第一推动部件和连接于两者之间的弹性缓冲件，且弹性缓冲件的弹性伸缩方向与第一驱动部件的驱动方向一致；第二对准组件包括第二驱动部件和连接于第二驱动部件驱动端的第二推动部件；第一驱动部件和第二驱动部件的驱动方向均指向放置区的轴心。该对准装置对晶圆推动对准过程中，能够有效缓解晶圆受到的刚性碰撞

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220710280U

(45)授权公告日2024.04.02

(21)申请号202322335681.4

(22)申请日2023.08.29

(73)专利权人北京华卓精科科技股份有限公司

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