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本实用新型提供一种晶圆清洗治具，治具表面具有安装区、第一凹槽和卡槽，治具背面具有磁铁，其中，安装区中具有多个通孔，用于将该治具吸附于清洗机台上；第一凹槽用于容纳晶圆模组上的PCB；卡槽与清洗机台上的卡扣配合使用，以将治具固定在清洗机台上；磁铁加强了治具与清洗机台之间的牢固性。本实用新型提供的晶圆清洗治具适用于封装后的晶圆模组，弥补了现有技术中的空白，且晶圆模组上的PCB容纳于第一凹槽中，避免了PCB在清洗过程中被刮伤；另外，通过设置通孔、卡槽和磁铁，使治具更加牢固地安装在清洗机台上，避免出现撞击
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220710250U
(45)授权公告日2024.04.02
(21)申请号202321443625.6
(22)申请日2023.06.07
(73)专利权人奕瑞影像科技（太仓）有限公司
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