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2024-04-03 发布于四川
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本发明涉及压电元件及致动器，课题为以低成本提供在低电压下获得高的压电性能的压电元件及压电致动器。压电元件在基板上依次具备第1电极、第1压电膜、第2电极、第2压电膜及第3电极，第1压电膜及第2压电膜均以在A位包含Pb且在B位包含Zr、Ti及M的钙钛矿型氧化物作为主成分，M为选自V、Nb、Ta、Sb、Mo及W中的金属元素，第1压电膜和第2压电膜所包含的钙钛矿型氧化物中的Pb组成比不同，使第1电极接地、将第2电极作为驱动电极对第1压电膜测定的极化‑电场滞后和使第2电极接地、将第3电极作为驱动电极对第2

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117812989A

(43)申请公布日2024.04.02

(21)申请号202311138869.8H10N30/045(2023.01)

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