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本发明提供一种可对多个成膜对象物同时进行基于均匀膜厚分布的成膜的成膜装置。实施方式的成膜装置具有：托盘，具有工件抵接面，能够在使工件搭载于保持器的搭载位置与使其从保持器分离的分离位置之间移动；自公转单元，具有保持器抵接面，使搭载于保持器的工件以旋转轴为中心公转，并且随着旋转轴的旋转而使工件以支撑托盘的支撑轴为中心自转；推动器单元，使保持器抵接面与保持器接触/分离，在将保持器搭载于搬送体的搭载位置与将其从搬送体分离的分离位置之间移动，并且使托盘在搭载位置与分离位置之间移动；及旋转单元，通过使旋转轴
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117802462A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202311250256.3C23C14/54(2006.01)
(22)申请日2023.09.
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