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本发明涉及一种人眼安全波段的半导体激光列阵芯片及其制作方法。本发明包括衬底；第一反射镜层，设置于所述衬底上表面；第一电极层，设置于所述衬底下表面；腔体组件，设置于所述第一反射镜层上表面；第二反射镜层，设置于所述腔体组件上表面；本征隔离层，设置于所述衬底上表面且延伸至所述第二反射镜层上表面，所述本征隔离层将所述第一反射镜层、所述腔体组件和所述第二反射镜层分隔成相互隔离的发光台面；第二电极层，设置于所述本征隔离层上表面且与所述第二反射镜层接触。本发明能够解决现有技术中光电限制结构制备困难的问题，并采
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117833023A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202410012642.7
(22)申请日2024.01.04
(71)申请人江苏长光时空光电技术有限公司
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