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本公开是关于一种重叠状态检测方法、重叠状态检测装置、掩膜版检测方法、掩膜版检测装置、计算机可读存储介质及电子设备。该重叠状态检测方法包括：制备第一图案化材料层；获取第一图案化材料层的指定区域对应的第一图像；制备第二图案化材料层；获取第二图案化材料层的指定区域对应的第二图像；根据第一图案化材料层的第一设计版图和第二图案化材料层的第二设计版图的对应关系，将第一图像和第二图像进行图像配准，以获取第一图案化材料层和第二图案化材料层的重叠状态。提供了一种较准确判断掩膜版设计状况的重叠状态获取方法。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117830195A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202211203802.3
(22)申请日2022.09.29
(71)申请人长鑫存储技术有限公司
地址23
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