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本发明适用于检测设备技术领域，尤其涉及一种石英圆环片表面光洁度的快速检测装置，所述装置包括：底座，底座上安装有原子力显微设备和图像处理设备，包括显微探头和第一图像采集装置，底座上安装有两组支架，支架上安装有第二伸缩缸，所述第二伸缩缸端部安装有两组定位杆；工件控制机构，所述工件控制机构包括第二图像采集装置，工件控制机构用于识别工件的位置，并控制工件进行转动和移动，配合原子力显微设备和图像处理设备完成光洁度检测。本发明能够自动完成对石英圆环片的自动定位，通过控制石英圆环片进行转动移动，使得显微探头和
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117825755A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202410027480.4
(22)申请日2024.01.09
(71)申请人江苏弘扬石英制品有限公司
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