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本发明公开一种微结构阵列的激光超声复合加工方法，属于激光精密加工技术领域。针对回转类零部件微结构阵列表面质量差、加工精度和效率低的问题，提出微结构阵列定位‑加工‑检测一体化的激光超声复合加工方法。各部件配置方式确定后，采用探针直接接触测量回转类零部件表面，高精度获取工件三维轮廓信息并生成点云模型；通过微结构阵列图案和点云模型匹配，精准定位微结构阵列位置和规划微结构阵列加工工艺；利用聚焦透镜激光超声复合改善微结构内外表面质量和加工精度，多光束并行提高微结构制备效率，CCD相机在线检测、调整微结构阵
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117817124A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202410074819.6
(22)申请日2024.01.18
(71)申请人山东理工大学
地址255086
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