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紫外线照射装置和臭氧生成装置.pdfVIP

紫外线照射装置和臭氧生成装置.pdf

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    提供紫外线照射装置和臭氧生成装置，该臭氧生成装置包含该紫外线照射装置，可抑制原料气体的升温。在具有紫外线照射装置(10)的臭氧生成装置(1)中，将准分子灯(40)同轴配置于紫外线照射装置(10)的流体管(30)，使轴流风扇(20)转动而使空气向上方流动，产生臭氧。构成如下的准分子灯(40)，该准分子灯(40)具有在臭氧生成装置(1)的工作中，使流体管(30)的入口(30A)附近的温度与流出口(30B)附近的温度差为20℃以下的轴向长度(K)、相隔距离(d)。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN112010264A

    (43)申请公布日

    2020.12.01

    (21)申请号20201

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