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一种MEMS微机械全解耦闭环陀螺仪.pdf

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    本发明公开了一种MEMS微机械全解耦闭环陀螺仪，包括：衬底、敏感器件层、衬底与敏感器件层之间有绝缘层；敏感器件层包括：第一子结构、第二子结构、耦合连接梁；第一子结构、第二子结构均包括：驱动框架、驱动折叠梁、驱动解耦梁、哥氏质量块、检测框架、检测梁、检测解耦梁、驱动固定梳齿、驱动可动梳齿、驱动检测固定梳齿、驱动检测可动梳齿、检测固定梳齿、检测可动梳齿、力反馈固定梳齿、力反馈可动梳齿、锚点；抑制正交误差信号的产生，提高微机械陀螺仪器件的零偏稳定性指标，同时设计结构紧凑，芯片面积小，可防止检测模态敏感

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN108507555A

    (43)申请公布日

    2018.09.07

    (21)申请号20181

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