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抛光头寿命检测方法、装置、计算机设备及存储介质.pdfVIP

抛光头寿命检测方法、装置、计算机设备及存储介质.pdf

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    本发明涉及化学机械抛光技术领域，公开了抛光头寿命检测方法、装置、计算机设备及存储介质，包括：获取待测抛光头至当前阶段的使用时间；基于使用时间，确定待测抛光头的判断参数；基于判断参数，确定待测抛光头对应的寿命阶段，寿命阶段用于确定抛光头是否需要更换。本发明根据待测抛光头至当前时刻的使用时间，通过利用预先在使用时间下通过压力测试实验得到的数据，确定待测抛光头的判断参数，进而确定是否需要更换抛光头，实现对抛光头寿命阶段的精准识别及判断，摆脱了对人工经验的依赖，使得抛光头的更换时机判断更为精准可靠，节约

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117817558A

    (43)申请公布日2024.04.05

    (21)申请号202410205299.8

    (22)申请日2024.02.23

    (71)申请人北京晶亦精微科技股份有限公司

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