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本申请涉及一种基板处理装置、基板转移组件及过滤器。过滤器用于设置于机械臂与抽气管路之间，过滤器包括过滤主体。过滤主体用于过滤掉由机械臂抽送至抽气管路的气体中的溶液，过滤主体设有第一连接部与第二连接部。第一连接部用于与机械臂连通，第二连接部用于与抽气管路连通。过滤主体能过滤掉由机械臂抽送至抽气管路的气体中的溶液，从而能防止残留于基板表面上的溶液通过机械臂抽吸进入到抽气管路中，也就能有效防止抽气管路的堵塞与腐蚀缺陷，从而能提高生产效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117815813A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202410059691.6B01D46/48(2006.01)
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