光控资料分析和总结.docxVIP

我们这昭和机上选择光控有四种方式：1，极值制御2比例制御3补正制御4极值加补正大家帮我解释一下这几种方法好吗？具体怎么使用这几种方法？

我用过昭和机器,是这样的:

例如,你在软件界面里边选择了光亮起始点80,中心波长590nm,

1.正好在极值点自动判停.如果极小值是55,那么当光亮下降到55时关挡板.2.过极值点用的.如果你把比例定位0.3,那么

(80-55)*0.3=7.5 55+7.5=62.5

光亮就会在过极值(55)后上升到62.5时判停.

没过极值点用的.如果设为10

那么光亮从80下降到70时就自动判停了.

过极值点用的.如果设为10,那么55+10=65

光亮会在下降到极值(55)之后,又上升到65时判停.这里假定极小值每次都是55,事实上不一定的啦.

以前的日本老师教的.分开有3年了,不知道他现在日本如何了........

我用500nm作为监控波长，走5个极值。完成后，我扫描监控片镀膜曲线，发现5阶极值点波长在569nm位置。

这是什么原因？是tooling偏差，还是我的单色仪跑偏了？

1,tooling本来含义中没有这个偏移量的，这是个人经验，不是不可行。

因为tooling本身是个近似值，而且这个值似乎一直会变化。你以为好的时候，膜系出来不一定好，反过来也一样。

tooling的变化是镀膜机重复性的难点所在，不可绝对避免，这也是为什么发展直接光学监控的根本原因(当然，各有利弊)。

只要镀出合格的膜系，就是猜的tooling都可以。

2,8kv，你是指电子枪负高压吧；对于离子源及其效果，本人了解数据有所欠缺，不多言；

3,你能用2个波长校准已经很够意思了，作为用户用1个波长看看就差不多啦。汞灯是单色仪生产厂家用的。

补充一下，我用另外一个膜料，同样镀完后，5阶极值点也跑到559了。如果是单色仪跑偏了，那么应该也在569位置。

会不会是因为走值完成后，真空炉中剩余的介质继续附着导致的呢？

一，你先测测你的监控片，看看到多少啊

二，膜料不一样吸收的水份不一样，那你测出来就不一样啊

不是很明白你一的意思，我上面的数据就是监控片的扫描曲线啊。二的话，是指确实是因为膜料的原因，而不是单色仪的偏差。对吧？

我测量扫描的就是监控片的光谱，就如我顶楼说的，5阶极值点不是500而是569了。当然，我同时也扫描测量的样品的光谱，这两个的极值点波长是不同的。

监控片的光谱与样品的光谱的极值点波长是不同的，比值应该就是tooling值。检查一下未使用的监控片是否一至

所有的监控片当时都是同一批加工的，测试的反射率也基本一致，所有我觉得应该是可信的。

不过我的监控片使用的是K9，而样片则用的是要用于镀膜的玻璃。这两种材质还是有差异的。

其实这个问题不是水吸飘长的话，应该就是单色仪误差了。两种料做一个在559，一个在569，

不过相差10个纳米嘛，镀膜时的误差相差10个纳米我觉得是可以理解的，毕竟工艺不可能完全重复！平时我们抓的TOOLing，是综合了很多因素得出的一个综合的值，也包括单色仪的这个误差在内，所以自然对这方面没加在意

嗯，我想应该不是单色仪误差的缘故。

我现在最大的疑问，还是为什么监控波长是500，做出来的却不是500，而且我这个偏差都超过10%了。为什么呢。

光控与tooling值大小没关系

不是很懂，能解释一下吗？

我设定的监控波长500，但出来的曲线对应的极值点在569，这个算是tooling吗？因为我已经确认过不是单色仪偏差了。

这不是tooling.

没有用离子源辅助吧。镀完膜立即测量监控片，看极值波长位置；放置一段时间后，再测。

估计单色仪是不会出现这么大偏差，但你如何确认单色仪没有偏差的呢?

我一直把这个当做是tooling的一部分。。。这样看来的话，真不知道为什么会产生这个偏移了。

但我的确有使用离子源辅助。有离子源和没有离子源我都做过测试，一样都会产生差不多的便宜，只是没有离子源时，折射率大约会高0.1左右。

监控片未冷却与冷却时的曲线确实有差异，未冷却时，镀膜曲线会向长波长方向移动，在1500波长附近大约能偏移100nm，但在短波长附近的差异就只有十几个nm了。

至于单色仪的校正，我是使用红光激光笔与绿光激光笔进行校准的。另外还有一个可以确认单色仪没有严重偏差的理由，是原有的几个膜系，同样的镀膜参数镀出来的曲线没有什么大的变化。

测量样品片与监控片的波长位置来算tooling的方法，似乎不如直接用监控波长来的方便。二者最后都要根据实际结果来修。

也可能你的离子源能量弱，对增强膜层填充密度效果不明显(我见过点灯丝的属于这种)。

用xx大拿的话来说，只有清洁作用，呵呵。没有离子源的折射率更高？

冷却与不冷却可能有其他因素(吸潮以外)在里面，比如折射率温度系数，热膨胀系数等。