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2024-04-06 发布于四川
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本发明涉及镀膜设备技术领域，尤其是涉及一种镀膜机，包括真空系统和镀膜系统，所述镀膜系统包括镀膜筒体以及铰接于镀膜筒体的镀膜筒盖，所述镀膜筒体内设有转架，还包括有用于转运转架的推车，所述镀膜筒盖与镀膜筒体配合内部形成真空腔体，所述真空腔体内设有弧源组件、蒸发组件、圆柱靶、平面靶以及加热管，所述真空系统通过抽真空通道与真空腔体相连，将弧源组件、蒸发组件、圆柱靶、平面靶以及加热管等元器件安装在镀膜机内部，使镀膜机集成多功能一体化，既可以多弧离子镀膜又可以磁控溅射镀膜，降低了设备成本的投入，本发明具有镀

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117821915A

(43)申请公布日2024.04.05

(21)申请号202310915022.X

(22)申请日2023.07.24

(71)申请人温州驰诚真空机械有限公司

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