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一种低功耗气体传感器加热电极制备方法及系统.pdfVIP

一种低功耗气体传感器加热电极制备方法及系统.pdf

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    本发明涉及一种低功耗气体传感器加热电极制备方法及系统，所述系统包括加热电极，其配置有若干个第一引导区段，检测电极，其配置有若干个第二引导区段，隔离层，其被配置为用于隔离所述检测电极和所述检测电极，隔离层限定了定向成背离衬底的第一表面，所述第一表面以及靠近所述衬底的第二表面，所述第一表面沉积有用于检测的检测电极，所述第二表面沉积有用于加热的加热电极，所述第一引导区段定位于所述检测电极配置的若干个第二导引区段以使所述第一引导区段能够与所述第二导引区段相互对应设置将隔离层夹持；制作方法包括以下步骤：在

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117825459A

    (43)申请公布日2024.04.05

    (21)申请号202310133033.2

    (22)申请日2023.02.20

    (66)本国优先权数据

    202210179981.5

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