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对位误差检测方法、装置、设备及介质.pdfVIP

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  • 2024-04-06 发布于四川
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对位误差检测方法、装置、设备及介质.pdf

    本公开提供了一种对位误差检测方法、装置、设备及介质，涉及半导体技术领域。该方法包括：获取第一机台相较于第二机台的透镜性能偏差的偏差影响信息，其中，偏差影响信息用于表征透镜性能偏差生成第一膜层上不同曝光位置处的对位标记的对位误差偏差量；基于偏差影响信息，确定第一膜层的多个对位标记各自的标记权重，以基于多个对位标记各自对应的对位误差值以及多个对位标记各自的标记权重，确定第一膜层相较于第二膜层的对位误差，其中，各对位标记的标记权重与透镜性能偏差对每一对位标记的对位误差偏差量反相关。根据本公开实施例，能

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117826539A

    (43)申请公布日2024.04.05

    (21)申请号202211188668.4

    (22)申请日2022.09.27

    (71)申请人长鑫存储技术有限公司

    地址23

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