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本申请提供一种谐振器及其制备方法，涉及谐振器技术领域，谐振器包括衬底以及依次层叠于衬底的底电极、压电层和顶电极，顶电极具有位于谐振器工作区域边缘的声反射部，声反射部朝向背离压电层的至少一侧拱起，以与压电层之间形成多个反射空腔，利用反射空腔的内空气和声反射部之间的声阻抗不匹配，从而对横向声波进行反射，以此，降低纵向能量的损耗，提高谐振器的Q值，并且由于声反射部朝向背离压电层的一侧拱起，所以，能够使得顶电极通过拱起的方式得到有效的延长，从而通过顶电极提高了器件的热稳定性，降低谐振器的温漂系数。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117833859A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202410008162.3H03H9/58(2006.01)
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