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用于电路连接的多形貌三折空气桥的制作方法.pdfVIP

用于电路连接的多形貌三折空气桥的制作方法.pdf

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    本发明公开了一种用于电路连接的多形貌三折空气桥的制作方法，在衬底上旋涂光刻胶；进行灰度曝光，桥墩部分曝光剂量最大，桥面上升部分曝光剂量按照预设曲线变化，桥面水平部分与空气桥外侧不进行曝光；曝光显影完成，镀上导电层后按照设计的保护层版图进行保护层曝光，保护层的版图可以根据需要设计成十字型，Y型等等，设计水平桥面和上升桥面的大小比例可以保证桥的结构的稳定，平行的桥面作为公用部分链接各个桥墩；曝光显影后利用刻蚀法去除不需要的导电材料：最后进行光刻胶的剥离达到需要的空气桥。本发明提高了空气桥版图设计的灵

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117832166A

    (43)申请公布日2024.04.05

    (21)申请号202311538767.5

    (22)申请日2023.11.17

    (71)申请人南京大学

    地址210093

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