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本发明涉及镀膜修正技术领域，具体为一种电子束蒸发镀膜机用镀膜修正系统及方法，包括镀膜数据采集单元、云存储单元、镀膜数据分析单元、镀膜偏差监测单元以及镀膜调整修正单元，本发明通过对镀膜机运行时的影像进行三维成像处理并比对，将需要镀膜的设备的位置进行信号判断，便于更直观的了解需要镀膜的设备的位置变化，增加镀膜的精确性，对镀膜时数据进行区域划分，依据划分的区域进行数据分析，将镀膜的实时情况通过数值进行体现，将分析的数值与判断的信号一同进行评价处理，将评价结果通过数据的方式呈现出来，将呈现的数值进行分析
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117821907A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202311575753.0
(22)申请日2023.11.23
(71)申请人江苏微凯机械有限公司
地址22
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