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本发明提供了一种主动式螺纹及轮廓扫描方法，包括：采用测力反馈机构利用形变量反映测针与工件间测力的关系，根据测力反馈机构的反馈数据，控制垂直轴运动的速度和方向，实现恒定测力跟随工件；采用水平拉力检测机构利用形变量反映测针受水平方向上的拉力的关系，当测力反馈值小于一定值时，衰减或者停止水平方向的扫描速度，当水平拉力检测机构大于一定值时候衰减或者停止水平方向的扫描速度，同时垂直轴运动方向为测力减小方向。本发明的有益效果是：通过实时调整测力大小，保证了测量过程中测力基本恒定，进而保证测量的数据更真实反映
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117824534A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202410015387.1
(22)申请日2017.12.05
(62)分案原申请数据
201711268289.5
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