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一种用于KDP和DKDP晶体线切割机的切削液恒温循环供给装置.pdfVIP

一种用于KDP和DKDP晶体线切割机的切削液恒温循环供给装置.pdf

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    一种用于KDP和DKDP晶体线切割机的切削液恒温循环供给装置，包括L型的控制箱和嵌入在该控制箱内的切削液箱；在切削液箱的上方设有循环泵，用于抽取切削液，该循环泵外接进液管路，切削液箱通过隔板分为沉淀区和供给区，且沉淀区经过滤板分为上下二层，排液管道伸入至所述沉淀区的下层；切削液箱内切削液初始为装满状态，循环泵将切削液送往进液管道，进液管道直达DKDP晶体切割机的前端需要切削液冲淋的位置，切削液冲淋过后，经过排液管道回到切削液箱的沉淀区内，其中较大的杂质会通过重力的作用沉淀下去，切削液中小的杂质会

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117817868A

    (43)申请公布日2024.04.05

    (21)申请号202311636238.9

    (22)申请日2023.12.01

    (71)申请人中国科学院上海光学精密机械研究

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