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本发明提供了一种复合金刚石光学窗口材料的制备方法，包括：将硅片进行清洗，将清洗后放入金刚石微粉溶液中进行超声处理，超声后取出烘干；采用微波等离子体化学气相沉积设备在附着金刚石微粉的硅片表面生长多晶金刚石，生长后在多晶金刚石正中间放上金属材料，放上后继续生长多晶金刚石；多晶金刚石生长结束后，腐蚀掉硅片和金属材料；腐蚀后在具有金属材料槽的多晶金刚石正中心切出通孔，并将与金属材料槽相同大小的单晶金刚石圆片放入金属材料槽中；将多晶金刚石反面，反面后采用微波等离子体化学气相沉积生长单晶金刚石。本发明结合了
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117821930A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202410020401.7C23C16/56(2006.01)
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