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本发明公布一种实时测温装置、方法及氮化镓生长设备，包括生长腔体、石英件、籽晶固定件和实时测温装置，所述生长腔体左侧设置有左法兰、左不锈钢腔室和左压环，所述生长腔体右侧设置有右法兰、右不锈钢腔室和右压环，所述左压环右侧和右压环左侧与石英管连接，所述石英管外侧设置有加热炉，所述加热炉与实时测温装置电连接，所述石英件包括第一进气管、第二进气管、第三进气管、石英镓舟、第一出气管和匀流板，所述籽晶固定件包括籽晶托和籽晶杆。本发明通过在籽晶处增加热偶，监测生长过程中的实时温度，若监测出温度发生波动或温度场不
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117822108A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202311848018.2
(22)申请日2023.12.28
(71)申请人山东大学
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