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本申请涉及一种离子束测量方法、装置、离子束束流测量系统及真空设备；所述方法包括：在对真空设备的离子源输出的离子束进行测量时，根据离子源的空间模型确定测量点序列及其位置参数，并计算将探测装置移动到相应测量点的控制参数，然后根据控制参数依次控制探测装置移动至各个测量点位置测量束流参数，再根据束流参数生成离子源的离子束束流分布图；该技术方案，采用移动式的探测装置对各个位置点进行测量束流参数，相对于法拉第筒阵列测量方式，可以提升测量数据一致性，能够获得准确的性能参数；而且可以根据需求设置测量点数量，可以
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117826230A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202311851909.3
(22)申请日2023.12.29
(71)申请人佛山市博顿光电科技有限公司
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