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采用制冷剂闪蒸喷雾冷却的激光反射镜系统及方法.pdfVIP

采用制冷剂闪蒸喷雾冷却的激光反射镜系统及方法.pdf

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    本发明公开一种采用制冷剂闪蒸喷雾冷却的激光反射镜系统及方法，系统包括壳体、制冷剂压缩循环系统、反射镜组件、冷却腔体，分流排及与之连接的喷嘴阵列；所述反射镜组件设置在壳体内，壳体为冷却腔体；所述制冷剂压缩循环系统与分流排及与之连接的喷嘴阵列连接，所述分流排及与之连接的喷嘴阵列与所述冷却腔体处，且与反射镜组件相对设置；所述反射镜组件包括激光反射镜，所述激光反射镜中间部分开一环形槽形成镜片温度补偿面；环形槽内环形布置多根独立控制的加热丝，加热丝用于补偿来控制激光反射镜反射面的温度均匀性。本发明对激光反

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117832997A

    (43)申请公布日2024.04.05

    (21)申请号202311725330.2

    (22)申请日2023.12.14

    (71)申请人西安交通大学

    地址710049

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