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压力传感器元件及压力传感器.pdfVIP

压力传感器元件及压力传感器.pdf

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    本发明的压力传感器元件具备：膜片，其具有隔膜部；基板，其在厚度方向上与膜片对置；环状的防护部，其位于膜片及基板之间，与膜片及基板接合；以及基座部，其配置在由膜片、基板及防护部形成的密闭空间，与膜片接合且与基板及防护部分离。基座部的第一电极经由用于形成静电电容的压力基准室而与隔膜部对置。基座部在第一电极以外与膜片接合。形成有在厚度方向上贯穿膜片并且到达防护部的内部的沟槽。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117836598A

    (43)申请公布日2024.04.05

    (21)申请号202280056935.4(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任

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